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Vakuumbedampfung bezeichnet ein Verfahren, bei dem ein Substrat (in der Regel aus einem nichtmetallischen Material) mit einer dünnen Metallschicht beschichtet wird. Die bei diesem Verfahren eingesetzte Ausrüstung wird als Vakuumbedampfungsanlage bezeichnet.
Im Allgemeinen gibt es zwei Haupttypen von Vakuumbedampfungsanlagen: PVD-Vakuumbeschichtungsanlagen (Physical Vapor Deposition) und Sputter-Beschichtungsanlagen. Der Unterschied zwischen den beiden besteht darin, dass eine Vakuumbedampfungsanlage zwar mit verschiedenen Methoden arbeiten kann, aber alle als Vakuumbedampfungsgeräte gelten.
In vielen Fällen wird das Vakuum in der Kammer durch mechanische Pumpen und zusätzlich durch Diffusionspumpen oder Kryopumpen erzeugt.
Sputter-Beschichtungsanlagen: Eine Sputter-Beschichtungsanlage könnte anders funktionieren. Hier wird ein Gas (häufig Argon) in eine Vakuumkammer eingeleitet, die dann einem starken elektrischen Feld ausgesetzt wird. Das Gas ionisiert, und das erzeugte Plasma bombardiert eine Metalltarget, wodurch Metallatome aus ihr herausgeschleudert werden. Die Metallatome wandern dann durch die Kammer und kondensieren auf der Substratoberfläche. Sputter-Beschichtungsanlagen haben oft Komponenten wie eine Vakuumkammer, einen Plasmagenerator, einen Substrathalter, ein Gaseinleitsystem und ein Vakuumsystem.
Neben den oben genannten gibt es auch Box-, Inline- und Rotations-Vakuumbedampfungsanlagen, die eine weitere Klassifizierung der Funktionsweise der Vakuumbedampfung ermöglichen. In vielen Fällen wird das Vakuum in der Kammer durch mechanische Pumpen und zusätzlich durch Diffusionspumpen oder Kryopumpen erzeugt.
Zu den gängigen Spezifikationen von Vakuumbedampfungsanlagen gehören die Beschichtungsdicke, die Verarbeitungszeit und der Stromverbrauch.
Die Pflege eines Vakuumbedampfungsgeräts ist sehr wichtig. Es gibt nur sehr wenige Informationen darüber, wie man diese Geräte und Vakuumbedampfungsanlagen im Allgemeinen pflegt. Um einige wichtige Tipps hervorzuheben, sollte die Maschine nicht Witterungseinflüssen wie Regen oder extremer Kälte ausgesetzt werden, um Schäden zu vermeiden. Die Vakuumanlagen sollten jederzeit in einer sauberen und trockenen Umgebung aufbewahrt werden. Eine regelmäßige Reinigung des Geräts ist ebenso notwendig. Die Vakuumreinigungsfunktion dieser Maschinen trägt dazu bei, dass alle verbleibenden Ablagerungen aus den Ecken und schwer zugänglichen Bereichen entfernt werden. Im Falle empfindlicher Teile wird die Verwendung eines weichen Bürstens oder Tuchs empfohlen. Zur Entfernung von Staub und Partikeln können elektrostatische Verfahren angewendet werden.
Das Vakuumbedampfungsverfahren findet in zahlreichen Branchen Anwendung.
Bei der Auswahl einer Vakuumbedampfungsanlage zum Kauf sollten Käufer die Entscheidung auf der Grundlage der spezifischen Anwendungsbedürfnisse treffen und mehrere Parameter berücksichtigen.
Beschichtungsanforderungen und Substratverträglichkeit
Beim Kauf einer Vakuumanlage sollte der Käufer sicherstellen, dass die Maschine, die er kaufen möchte, die Substrate beschichten kann, die mit seinen Materialien kompatibel sind. Wenn man beispielsweise Kunststoff- oder Glassubstrate beschichten möchte, muss man nach einer Vakuumanlage suchen, die das Glasmaterial effektiv beschichten kann.
Produktionskapazität und dimensionale Einschränkungen
Ein Käufer muss eine Vakuumanlage kaufen, die seiner Produktionskapazität und den dimensionalen Einschränkungen des Materials entspricht, mit dem er arbeitet. Daher sollte der Käufer sicherstellen, dass er entweder seine Produktionsgrößen oder seine Kapazität unterbringen kann.
Technische Merkmale und Automatisierung
Der Käufer muss sich für die technischen Merkmale und die Automatisierung der Vakuumanlage entscheiden, die er kaufen möchte. Einige Käufer werden sich für fortschrittliche Überwachungssysteme entscheiden, während andere sich für automatisierte Materialhandhabungsfunktionen entscheiden.
Wartung und Support:
Beim Kauf einer Vakuumanlage sollte man die Wartungs- und Supportleistungen berücksichtigen. Man sollte sich für eine Vakuumbedampfungsanlage entscheiden, die einfach zu warten ist und über Supportleistungen im Kaufgebiet verfügt.
Größe und Kosten
Beim Kauf einer Vakuumanlage müssen Käufer die Modellgröße und die Kosten der Maschine berücksichtigen. Käufer sollten eine Vakuumanlage kaufen, die ihrem Budget entspricht.
F1: Welche Metalle werden bei der Vakuumbedampfung üblicherweise verwendet?
A1: Die gebräuchlichsten Materialien, die bei der Vakuumbedampfung verwendet werden, sind Aluminium, Gold, Silber, Chrom, Titan und Zirkonium. Aluminium ist mit Abstand das am häufigsten verwendete Material. Andere Materialien wie Gold und Silber werden nur in Spezialanwendungen verwendet, z. B. wenn ein bestimmtes Maß an Korrosionsbeständigkeit erforderlich ist oder wenn das Produkt in einer elektrischen Umgebung verwendet werden soll.
F2: Ist Vakuumbedampfung umweltfreundlich?
A2: Vakuumbedampfung gilt im Allgemeinen als umweltfreundlicher als andere Bedampfungsverfahren. Dies ist zum großen Teil darauf zurückzuführen, dass sie den Materialverbrauch reduziert. Allerdings ist das Verfahren mit der Verwendung bestimmter Chemikalien und der Emission von Gas aus der Vakuumkammer verbunden, was es notwendig macht, die richtigen Filter- und Absaugsysteme zu installieren.
F3: Kann Vakuumbedampfung auf nicht-flache Oberflächen angewendet werden?
A3: Ja, einer der Hauptvorteile der Vakuumbedampfung ist, dass das Verfahren zur Beschichtung auch komplexer Formen verwendet werden kann. Das in der Kammer erzeugte Vakuum bedeutet, dass fast jede Form sehr gleichmäßig beschichtet werden kann, selbst bei feinen Details.
F4: Wie vergleicht sich Vakuumbedampfung mit galvanischem Verzinken in Bezug auf die Dicke?
A4: Einer der wichtigsten Unterschiede zwischen Vakuumbedampfung und galvanischem Verzinken ist die Beschichtungsdicke. Galvanisches Verzinken erzeugt in der Regel dicke Beschichtungen, manchmal bis zu mehreren Millimetern. Im Gegensatz dazu bietet die Vakuumbedampfung viel dünnere Beschichtungen, typischerweise von wenigen Nanometern bis zu wenigen Mikrometern.