Maßgeschneiderte unterstützung
OEM
Modellnummer
CY-MPCVD-12KW
Produktname
Mpcvd Einkristall-Diamant abscheidung ausrüstung
Ausgangs leistung
0.6 ~ 12kW kontinuierlich einstellbar
Automatische Druck regelung
40 ~ 250Torr
Mikrowellen frequenz
2450 ± 25MHz
Mikrowellen-Tuning
3-Stub-Tuner-Modus Konvertierungs antenne
Betriebs druckbereich
10 ~ 250Torr
Vakuum integrität
<1,0 x10-9 pa * m3 /sec
Beispiel tisch fenster
105x50mm rechteckiger Anschluss, Haustür mit Fluor-O-versiegelt
Vakuum-Leckrate
<1*10-9 pa m3 /s